检测设备


测高仪


                     测高仪                                        标准件

       测高仪是放置于平台上进行单轴测量的仪器,放在花岗石平台上进行高精度检测。TESA MICRO-Hite是一款由瑞士生产分辨率0.001MM的高精度测量系统,功能全面的测高仪主要用于在线或批量检测,一台或一群机床上直接进行测量,特别对于一些尺寸要求严格的工件在生产过程中的调试和抽样检测非常有用。
       设备参数如下:


测试实例:
  




通用途光学测量仪

   
            单镜片偏心测试                                   镜头偏心测试

       公司配备由Trioptics生产的高精度光学检测设备,通用途光学测量仪可以测是镜片及镜头焦距、曲率半径、以及偏心等参数。具体测量参数如下:
       有效焦距EFL:范围±5~±1000mm,精度0.1%
       后截距BFL:5~500mm,精度0.3%
       曲率半径R:5~500mm,精度0.3%
       轴上光学传递函数MTF:±0.01

       扩展功能
       空气间隔:±1μm
       中心厚度:±1μm
       单镜片偏心:±0.2μm


(MTF)传递函数测量仪



       ImageMaster®HR MTF测量仪,它可满足光学镜头的MTF测量需求,提升光学参数测量的精度与灵活性。ImageMaster®HR能够测量轴上和轴外的MTF和镜头光学畸变、视场、焦深、法兰距等其他光学参数。




F1000型光具座



       KFG-1000型光具座是一种用途广泛的综合性光学测量仪器,主要用于各种光学零件、部件及光学系统的像质研究及光学基本量的测定。仪器配有各种附件,能作以下几个方面的测量。
       1、用自准前置镜可测量平面平板玻璃的平行差以及棱镜的光学平行差及双像差。
       2、用玻罗法测定物镜的焦距,也可直接测量截距,用可调前置镜法可确定棱镜、平面镜及其组合系统的最小焦距。
       3、借助其他仪器可对望远系统作视度、视差、放大率、出瞳直径和出瞳距离等参数的测量。
       4、用分辨率板法确定物镜、棱镜及其组合系统的分辨能力。
       5、用星点法检验透镜、棱镜及其组合系统的成像质量。


Zygo干涉仪


       菲索型激光干涉仪,具有专利的环形光源伪迹消除抑制技术,是一种高精度、共光路面形计量干涉仪。ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire激光干涉仪,继承了工业标准GPI激光干涉仪系列的所有优点,融合了机械相移技术、革命性的数据采集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等,是ZYGO领先技术的集中体现。ZYGO新推出用于在震动环境下测量的DynaFiz干涉仪。
系统:
       ◆测量功能:精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前
       ◆测量技术:机械相移干涉测量(PSI)
       ◆校准系统 :快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线)
       ◆测量光束直径 :4″(102mm)或6″(152mm)
       ◆对准视场范围FOV :4″:±3°;6″:±2°;
       ◆光学中心线 :4.25″(108mm)
       ◆激光光源:大功率稳频氦-氖激光,IIIa 级
       ◆波长: 633 nm
       ◆频率稳定度: < 0.0001 nm
       ◆相干长度 :>100m
       ◆成像分辨率 :1000 x 1000 像素
       ◆帧速 :43Hz
       ◆数据采集时间 :302ms
       ◆数据模式: 8位
       ◆放大 :电控数显放大1-5X
       ◆偏振 :接近圆偏振(1.2:1或者更好)
       ◆光曈调焦范围: 4″:±2.5m;6″:±5.5m;
性能参数:
       ◆RMS重复性: < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
       ◆RMS波前重复性:< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
       ◆像素峰值偏差:< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
工作环境:
       ◆温度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)
       ◆温度变化率: <1.0°C/15min
       ◆湿度:相对湿度5% - 95% , 无凝结
       ◆隔振:机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统

干涉仪检测图样



轮廓仪



       轮廓仪是对物体的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器,作为精密测量仪器在各制造行业的应用十分广泛。SJ5700轮廓测量仪为全自动测量设备,在进行轮廓扫描的过程中,软件界面会实时描绘轮廓曲线;扫描结束后,操作者可通过轮廓分析工具对生成的轮廓曲线进行分析,得到如直线度、圆度、角度、距离、间距等轮廓参数。


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